Paddle ya Silicon Carbide
Bidhaa ya kina na matumizi
Kikapu kikubwa cha kupakia nguvu ya kaboni ya SiSiC / SiC paddle / boriti inafaa kwa mfumo wa upakiaji na utunzaji wa kiotomatiki kwa sababu ina utendaji thabiti, usiobadilika kwa joto la juu na nguvu kubwa ya upakiaji wa kaki. Kwa kuwa sehemu ya paddle ya cantilever ni thabiti na hakuna deformation, inawezekana kutengeneza kaki kubwa zaidi kwa kutumia zilizopo za tanuru zilizopo. Kikombe kikubwa cha kupakia nguvu ya kaboni ya SiSiC / SiC paddle / boriti inaweza kutumika kwa LPVCD kwa msingi wa mgawo wake sawa wa upanuzi wa mafuta na mipako ya LPVCD, ambayo huongeza sana mzunguko wa utunzaji na kusafisha, na hupunguza vichafuzi sana.
Vigezo vya kiufundi vya mmenyuko wa kaboni ya kaboni RBSIC:
bidhaa | kitengo | data |
Joto la matumizi | ℃ | 1380 |
wiani | G / cm3 | > = 3.02 |
Fungua porosity | % | <0.1 |
Kiwango cha Moh cha Ugumu | 13 | |
Kuinama nguvu | Mpa | 250 (20 ℃) |
Mpa | 280 (1200 ℃) | |
Modulus ya elasticity | Gpa | 330 (20 ℃) |
Gpa | 300 (1200 ℃) | |
Conductivity ya joto | W / mk | 45 (1200 ℃) |
Mgawo wa upanuzi wa joto | K-1 * 10-6 | 4.5 |
Alkali isiyo na asidi | Bora |
vipengele:
a. Haibadiliki kwa joto la juu na nguvu ya kupakia wafer ni kubwa;
b. Upinzani bora wa mshtuko wa joto na maisha ya huduma ya muda mrefu;
c. Mgawo wa upanuzi wa joto wa paddle ya cantilever ni ndogo sana, ambayo huongeza sana mzunguko wa matengenezo na kusafisha;
na kwa kiasi kikubwa kupunguza vichafuzi
Samani zingine za tanuru zilizotengenezwa na kauri ya kaboni ya silicon
Licha ya athari ya sintered silicon carbide SiSiC paddle ya kupakia kwa wafer, pia tunazalisha fanicha zingine ikiwa ni pamoja na mihimili ya kaboni ya RBSIC / SISIC, mirija ya bomba, bomba la bomba la ond, bomba la bomba la swirl, bomba la oksidi ya SIC batts / sahani ya kuweka na RBSIC .
Vaa bidhaa sugu za kaboni ya RBSIC / SISIC
Kwa sababu bidhaa yetu ya kaboni ya kaboni ya RBSIC / SISIC ina faida za upinzani bora wa kuvaa, upinzani wa kutu na maisha ya huduma ya muda mrefu, inaweza pia kufanywa kuwa linings sugu ambazo zinaweza kusanikishwa kwa urahisi katika mabomba ya kusindika au vimbunga.